原子发射光谱是一种利用受激发气态原子或离子所发射的特征光谱来测定待测物质中元素组成和含量的方法。

电感耦合等离子体焰矩温度可达6000~8000K，当将试样由进样器引入雾化器，并被氩载气带入焰矩时，试样中组分被原子化、电离、激发，以光的形式发射出能量。不同元素的原子在激发或电离时，发射不同波长的特征光谱，故根据特征光的波长可进行定性分析；元素的含量不同时，发射特征光的强弱也不同，据此可进行定量分析。

在氩气等离子体中电离样品并激发离子 ,测量产生的离子的质量。

利用初级X射线光子或其他微观粒子激发待测样品中的原子，使之产生荧光(次级X射线)而进行物质成分分析和化学形态研究。

在NO模式，当气样中的NO和O₃（臭氧）反应生成NO₂时，大约有10%的NO₂处于激化状态（以NO₂表示）。这些激态分子向基态过渡时，发射出波长590～2500nm的光量子hv，其强度与NO量成正比，利用光电倍增管将这一光能转变为电信号输出可推算出NO浓度。
在NOx模式，样气首先进入NOx转换装置，样气中的NOx包括NO和NO₂，其中的NO₂在此转换成NO，全部的NO经反应、检测，输出一个正比于NOx的直流电流，数字面板表显示NOx的浓度。

当紫外光射过待测气体时，气体中浓度很低的SO₂分子受紫外光的激发成为激发态，分子在返回基态的过程中发射出荧光。在测量气室的上方，通过石英凸透镜收集荧光并使其穿过窄带干涉滤光片，被光电倍增管接收。电机的转动使两个滤光片交替透射荧光，在间隔很短的时间产生两个采样波段不同的荧光电信号，这两个信号通过信号处理系统的放大，运算，最后转换成二氧化硫的浓度显示出来。