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99.9999%(6N)高纯硅烷

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99.9999%(6N)高纯硅烷

产品名称:99.9999%(6N)高纯硅烷

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产品详情

产品分类: 硅烷
名称:硅烷 高纯硅烷 化学式:SiH4
英文名称:silane
包装规格:44L
充装量:10公斤

高纯硅烷相关参数

中文名称:硅烷 高纯硅烷
产品纯度:99.9999%
包装规格:44L
充装量:10公斤
英文名称:silane
分子式:SiH4

详细参数

序号 名称 化学式 纯度(%) 压力(Mpa) 充装量(m3/kg) 阀门|螺纹出口  钢瓶容积(L) 钢瓶尺寸(cm) 钢瓶皮重(kg)
1 硅烷

SiH4

99.9999 - 10kg CGA350/Diss632 44 23×140

70

质量标准

项目名称 杂质含量(ppm)
硅烷 纯度指标(%) ≥99.9999  

氩气(Ar)

≤0.05
氯硅烷(Chlorosilane))

≤0.15

乙硅烷(Si2H6))

≤0.5
氦气(He)

≤1

一氧化碳(CO)

≤0.05
氧气(O2)

≤0.05

氮气(N2)

≤1
氢气(H2)

≤20

二氧化碳(CO2)

≤0.05
甲烷(CH4)

≤0.05

碳(C)

≤0.2
二氯二氢硅(SiH2Cl2)

≤0.5

甲基硅烷(CH3Si)

≤0.5
金属离子(Metals)

≤0.03

硅烷发展历史


硅烷是1857年发现的,在之后100年左右的时间里,在工业生产中几乎没有任何用途。直到20世纪50年代,由于半导体技术的发展,它才开始在电子工业生产中得到应用。20世纪80年代半导体工业迅速发展,硅烷用量才迅速上升。1984年国际硅烷市场的销量为70t,1986年增加到110t,每年以12%~15%的速度递增。1990年全世界硅烷销量为240t。我国对硅烷的应用起步较晚,目前每年消耗量约数十吨。

随着一系列新技术、新产品的开发应用,除微电子工业外,硅烷已经成为信息、新材料、能源和环境科学的基础原料,是许多未来产业所必不可少的。它在现代科学和现代工业中的地位显得十分重要。

什么是硅烷气体


硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤,如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险,不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火。

硅烷气体无色,剧毒,易燃烧气体,带有令人生厌的大蒜味。 

硅烷气体用途


硅烷气体用途:硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。供应高纯硅烷气体,硅烷气体用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等。

硅烷气体理化性质


硅烷气体理化性质: 硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在温室下着火,在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其他气体稀释,如果浓度不够低,仍能自燃。硅烷在氩气中含2%,氮气中含2.5%,氢气中含1%,它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃,大于3%时自燃,1%~3%时可能燃烧。

使用注意事项

硅烷气体注意事项:使用硅烷的工作场所要通风,保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封,避免和空气、水分相接触,为此,用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空,这样反复进行置换和抽真空,一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置使用以后,也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时,从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处,要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷无腐蚀性,可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火,所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势,使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高,所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收,或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

 

 

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