三氟甲烷

	项目名称	纯度指标（%）
三氟甲烷		≥99.999
杂质含量（ppm)	水（H2O）	≤3
	氧气（O2）	≤2
	氮气（N2）	≤5
	二氧化碳（H2SiF6)	≤3
	酸度（Acidity)	≤0.1

三氟甲烷气体包装：采用47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。

三氟甲烷气体用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料。

三氟甲烷气体理化性质: 是一种无色、微味，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲烷具有窒息麻醉作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻伤。

三氟甲烷气体注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

上海尚澜新能源科技有限公司
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产品名称：三氟甲烷

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