继韩国本土生产氖气后，本土氖气使用量已达40%

在SK海力士成为第一家成功在国内生产氖气的韩国公司后，它宣布已将工艺引进比例提高到 40%。由此，SK海力士即使在不稳定的国际形势下也能获得稳定的氖气供应，并能大幅降低采购成本。SK海力士计划到 2024 年将氖气生产比例提高到100%。

到目前为止，韩国半导体公司的氖气供应完全依赖进口。近几年，海外主要产区国际局势不稳，氖气价格有大幅上涨迹象，与TEMC、POSCO合作，想办法在国内生产氖气。为了提取空气中稀薄的氖气，需要大型的ASU装置（Air Separate Unit），初期投资成本高。但是，TEMC和POSCO同意SK海力士在国内生产氖气的愿望，加入该公司并开发了一种利用现有设备以低成本生产氖气的技术。因此，SK海力士今年年初通过对国产氖气的评估和验证，成功实现了国产化。在 POSCO 生产后，这种韩国氖气在经过 TEMC 处理后以最高优先级供应给SK海力士。

氖是半导体曝光过程中使用的准分子激光气体的主要材料。准分子激光气体产生准分子激光，准分子激光是波长很短的紫外光，准分子激光用于在晶圆上雕刻精细电路。虽然准分子激光气体成分中95%是氖，但氖是一种稀缺资源，在空气中的含量仅为0.00182%。SK海力士今年4月在韩国首次将国产氖用于半导体曝光工艺，用国产氖替代了总使用量的40%。到2024年，氖气全部更换为国产。

此外，SK海力士将在明年6月之前在国内生产用于蚀刻工艺的氪气（Kr）/氙气（Xe），以最大限度地降低原材料供需风险，并可持续地供应先进半导体技术发展所需的资源。

SK 海力士 FAB 原材料采购副总裁 Yoon Hong-sung 表示：“这是通过与国内合作伙伴公司的合作，为稳定供需做出重大贡献的一个例子，即使是在国际形势不稳定导致供应不稳定的情况下。”合作，我们计划加强半导体原材料供应网络。