在信息时代的飞速发展中，海量数据的处理不仅对于芯片算力提出越来越高的要求，不断累积的数据也需要更大、更快、延时更低的存储介质。电子工业中氪氙气体主要用于3D NAND存储器高深宽比刻蚀工艺，从而实现多层堆叠结构。气体圈子预测，2025年全球电子级稀氪氖氙气体用量将增加至850ML，较2020年增长29%。全球电子级稀有气体主要厂商有德国林德气体、法国液化空气、美国空气化工、日本酸素（原名大阳日酸）和乌克兰CRYOIN，中国供应商市场份额占比较大的有福建博纯材料和广东华特气体。

 

激光气体主要用于电子工业中激光退火和光刻气。受益于手机屏幕创新和应用领域扩张，低温多晶硅市场规模将进一步扩大，激光退火工艺显着提高了TFT的性能。制造半导体的ArF准分子激光使用的氖、氟、氩气体中，氖气占激光气体混合物的96%以上。随着半导体工艺的精细化，准分子激光的使用量有所增加，加之双重曝光技术的引入，ArF准分子激光消耗的氖气需求剧增。受益于电子特种气体国产化的推动，未来，国内厂商有较好的市场成长空间。

光刻机是半导体制造的核心设备，光刻定义了晶体管尺寸，光刻产业链协同发展是光刻机突破关键。与之配套的光刻胶、光刻气体、光罩等半导体材料和涂胶显影设备等都拥有较高的科技含量。光刻气体是光刻机产生深紫外激光的气体。不同的光刻气体能产生不同波长的光源，其波长直接影响了光刻机的分辨率，是光刻机的核心之一。2020年全球光刻机总销售量为413台，其中ASML销售258台占比62%，佳能销售122台占比30%，尼康销售33台占比8%。

 

由Linx Consulting、GasReview和气体圈子共同完成的《全球电子稀有气体市场研究 2021版》调研过程中得到了铠侠、三星、海力士、美光、博纯材料、瀚沫能源和国内多家稀有气体原料工厂人士的大力支持，在此表示感谢！该报告是基于电子客户稀有气体的实际工艺消耗量和使用价值统计，避免了供应端统计会出现的重复计算问题。《全球电子稀有气体市场研究 2021版》报告主要对氪氖氙在电子领域的成长性做了具体研究，包括市场应用趋势、量价趋势和供应链分析等。购买报告连与气体圈子联系，微信bluceren。

《全球电子稀有气体市场研究 2021版》目录

第一章、稀有气体产业概述

1.1 稀有气体发现史

1.2 稀有气体的形成原因

1.3 稀有气体生产流程

1.3.1稀有气体分离原理

1.3.2 氪氙气体生产流程简介

1.4 稀有气体的主要应用

第二章、全球稀有气体市场

2.1稀有气体价格分析

2.2 3D NAND介绍

2.3 “单堆栈”和“双堆栈”技术

2.4 韩系NAND Flash企业介绍

2.4.1韩国稀有气体市场分析

2.5 日本NAND Flash企业介绍

2.5.1 日本稀有气体市场分析

2.6 中国NAND Flash企业介绍

2.6.1 中国稀有气体市场分析

2.7 美国NAND Flash企业介绍

2.8 双频电容耦合等离子体反应器

第三章、全球电子稀有气体市场研究

3.1 全球氙气市场分析

3.1.1 全球半导体氙气市场成长分析

3.1.2 全球半导体氙气供应商及各自市场份额

3.2 全球氪气市场分析

3.2.1 半导体氪气市场成长分析

3.2.2 半导体氪气市场份额

3.3 全球准分子激光氖混合气市场分析

3.3.1 准分子激光氖气市场容量及趋势

3.3.3 准分子激光氖混合气应用及趋势

3.3.3.1 准分子激光退火技术

3.3.3.2 准分子激光退火技术市场趋势分析

3.3.4 半导体光刻气应用与趋势

3.3.4.1 半导体光刻准分子激光原理

3.3.4.2 半导体光刻准分子氖混合气种类

3.3.4.3 半导体准分子氖混合气市场份额

3.3.5 全球氖气供应与需求量预测

第四章、中国电子稀有气体市场研究

4.1 中国稀有气体市场综述

4.2 中国半导体氙气市场分析

4.2.1市场和应用

4.2.2 量/价

4.3 中国半导体氪气市场分析

4.3.1 市场和应用

4.3.2 量/价

4.4 中国半导体激光气体市场趋势

4.4.1 市场和应用

4.4.2 量/价

五、全球及中国电子稀有气体供应链

5.1全球电子稀有气体供应链 - 氙

5.2 全球电子稀有气体供应链 - 氪

5.3 全球电子稀有气体供应链 - 激光氖混合气

5.4 中国电子稀有气体供应链 - 氙

5.5 中国电子稀有气体供应链 - 氪

5.6 中国电子稀有气体供应链 - 激光氖混合气