中国电子特种气体研究工作始于1983年，当时从事这一工作的单位有北京氧气厂、浙江大学、大连光明化学所和保定红星单晶硅厂，研究的内容为超纯气体和烷类气体。“七五”期间，国家科委委托电子部、化工部牵头，组织电子气体攻关招标会，中标的单位南京特种气体厂(公司)、中科院沈阳金属研究所、大连光明所、核工业部理化研究院和南京大学。攻关项目主要有烷类气体、化学气体刻蚀气体、高熔点氟化物金属气体、MO源（金属有机化合物）、气瓶处理技术和配套器件的研制，涉及气体品种20多种。1991年，国家又在“八五”科技攻关项目—集成电路用关键材料研究课题下，又专设了“电子特种气体研究”的子课题，开始了新一轮的攻关。

 

中国电子特种气体发展至今已经经历了近30年，气体圈子任路认为，要想全面实现电子特种气体材料的国产化，光有钱是远远不够的，我们应该力戒浮躁，抓住机遇，强化气体产业协同发展，大力加强基础科学研究。2020第五届国际气体产业发展高峰论坛9月28日将在上海隆重召开，届时任路先生将做专题报告《中国电子特种气体需加强基础科学研究》，从“洋气”-“合气”-“中国气”三个阶段全面总结过去30年中国特种气体产业发展经验，为早日实现国产化建言献策。

 

“洋气”

这个时期主要指的是1983年至2010年之间，国内的特种气体研究工作分阶段性进行，前期产业需求从市场化的角度来讲，没有太大的吸引力。特种气体几乎全部从国外进口，气体圈子任路将这个阶段称之为“洋气”时代。当时中国气体行业属于卖方市场，只要你有气体资源，价格基本都不是问题。这个时期很多代理韩国、日本和欧洲特种气体的经销商生意都是日进斗金。随着以太阳能光伏和LED为代表的战略性新兴产业开始出现，高纯氨、锗烷和一些含氟特种气体项目在中国落地，一些分子式的电子特种气体在国内开始自主化生产，这也拉开了国产化大戏的序幕。

“合气”

这里的“合气”可不是我们常说混合气哦，这是一个合作时期。这个时期大约会在2010年-2025年之间。在这期间有几个关键事件也为国产特种气体导入客户端创造了千载难逢的条件，比如2011年3月,日本东北部海域发生的里氏9.0级地震和2015年稀有气体的过山车式涨价、日本作为全球电子材料的主要供应国，全球电子客户都将面临供应链突发事件的危机，但是客户公司又不能因此影响正常生产，他们迫不及待的需要寻求新的气体材料供应商，这个时候中国的的几家气体公司经过多年的准备和技术积累，终于迎来了绝佳机会。但是合作模式基本上还是OEM（外资气体公司找中国当地企业合作或者中国气体公司找代理商合作），因为OEM的最终产品是气体，气体圈子任路把这种合作模式称之为“合气”。比如2017年林德集团和绿菱公司的电子级溴化氢合作项目，美国Entegris与湖北晶星的高纯度沉积产品包括 TEOS的合作项目。更多详细内容，9月28日第五届国际气体产业发展高峰论坛给你答案。2020年上半年中国大陆液晶面板企业全球市场占有率为38%，位居世界第一，这个领域的特种气体国产化率还是非常高的，有了电子客户服务的经验积累，一些气体公司已经开始逐渐向集成电路制造企业迈进，包括电子特气和现场制气。

“中国气”

气体圈子任路认为，这个阶段最主要的特点就是基础研究工作方面突破，包括材料、设备、用户的气体生态协同配合。前面两个阶段我们基本上都是非常用心的在copy，当知道某种气体的分子式之后，我们会把相同的分子式的气体纯度做的比原创公司还要纯，从COA到品控过程也基本上可以自主完成，业内称之为几个九，如7个9、11个9、20个9……，关键是价格还能非常有优势，这种模式貌似有点像古人常说的“两耳不闻窗外事,一心只读圣贤书”，这里的“窗外事”指的是客户的实际需求。根据气体圈子俱乐部调研发现，国内已经有一些设备厂商主动找特种气体供应商合作，也有特种气体供应商主动找设备厂商的，无论是哪一种，这都是一个很好的开端，如果再把客户端也加进来，那将真正解决“知己不知彼”的问题。