踏入21世纪第三个十年开局之年，全球黑天鹅事件频发，最引人注目的是新冠肺炎并由其引起的一系列问题。中国疫情已基本控制住，但疫情在全球严重蔓延，特别是欧美地区并已导致全球第二产业经济严重下滑，而且引致了各产业链的供需不平衡。

据了解2019年全球氪气总产能13万-14万m3。随着疫情严重影响实际产量已大幅下滑，同时导致需求端减少，但已导致加剧供需不平衡，近期氪气市场较缺货和其价格快速上涨的趋势已得到认证。

氪气主要应用领域有存储器3D NAND、星链Starlink计划、航空航天、中空玻璃、电光源照明、特种刀具和一些科研领域中的应用。

    第一讲：氪气在存储器3D NAND中的应用。

图一：3D-NAND 立体图

主要3D NAND厂商中，三星于2013年8月就已经宣布进入3D NAND量产阶段，2014 年第 1 季正式于西安工厂投产。其他几家公司在3D NAND闪存量产上要落后三星至少2年时间。铠侠(东芝)、美光、SK海力士2015年正式推出3D NAND闪存。Intel 2016年4月初才发布了首款3D NAND闪存的SSD，不过主要是面向企业级市场的。在这些存储大厂的推动下，NAND Flash正在快速由2D NAND向3D NAND普及。日前，美光发布第二季度财报，其在电话会议中美光透露，即将开始批量生产其基于公司新的RG（replacement gate）架构的第四代3D NAND存储设备。至此，美光，铠侠(东芝)，SK海力士和三星都已正式挺进128层，甚至更高层级，存储大厂们已经为3D NAND的堆叠层数而疯狂。市场需求无疑是最大的驱动力，随着5G及物联网技术的发展，大数据正呈现出爆炸式的增长，由此对于存储的需求也越来越大。2020年NAND Flash跨入128层时代。

图二：3D-NAND技术发展图

存储器约占全球半导体产值的三分之一，市场高度集中。市场调研机构集邦咨询半导体研究中心(DRAMeXchange)信息显示，2019年第三季度，三星、铠侠(东芝)、西部数据、美光、英特尔和SK海力士六家占据了全球99.3%的NAND Flash市场份额。长江存储董事长、紫光集团董事长兼CEO赵伟国称其是一个“非常血性的行业，非常惨烈”。

图三：主流3D-NAND厂家产能分布

图四：3D-NAND品牌厂商营收

长江存储2019年三季度量产第二代64层3D NAND闪存到现在，市场总体给予了正面积极的评价。长江存储CEO杨士宁在近日接受采访时表示，由于疫情影响，研发进度在短期确实会有所波及。不过，目前长江存储已实现全员复工，各项进度正在抓紧追赶，从中长期来看，这次疫情并不会影响总体进度。同时，128层技术会按计划在2020年推出。国家存储器基地位于武汉东湖高新区的未来科技城，规划建设3 座3D NAND 生产工厂，1 座总部研发大楼和其他若干配套设施，规划到2020年可形成月产能30 万片的规模，到2030 年可提升到每月100 万片的产能。

据行业资深人士介绍，目前氪气已在铠侠(日本东芝)、SK海力士规模应用，市场有传闻三星也有导入计划。国内长江存储，大连英特尔已小规模在使用。氪气其在3D NAND上应用主要是深沟道槽的刻蚀与清洁。3D NAND的沟道槽纵深比大，按要求刻蚀好深沟道槽图形的重要性非常突出。据消息人士2019年年底预测，2020年该行业氪气的用量可达4000m3/月（没有考虑疫情影响）。随着5G、物联网技术、及各类电子产品快速迭代，大数据正呈现出爆炸式的增长，3DNAND芯片的需求也随之高速增长。因而氪气的使用量也随着增长，突显加剧氪气供需不平衡。

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