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制造芯片的特殊气体,被5家外资几乎垄断,国产攻克难题实现量产
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芯片制造过程中,不仅需要用到光刻机、蚀刻机、光刻胶、硅片等核心设备或材料,而且还需要用到一种特殊气体,业内称之为电子特气。 作为产业链最上游的原材料之一,电子特气参与了刻蚀、清洗、外延生长、离子注入等各个环节,对于整个芯片制造业而言不可或缺,因此被誉为半导体的“血液”。 由于会影响到集成电路的性能、集成度、良品率等关键指标,所以电子特气对纯度的要求极高。而较大的工艺难度,又导致电子特气成为成本占比仅次于硅片的第二大材料。 随着芯片制程的微缩,半导体生产对电子特气的纯度提出了更高的要求。这进一步加大了中国企业在高端电子特气领域打破海外垄断的难度。 5家外资高度垄断 根据SEMI公布的2020年全球企业在电子特气市场份额占比,美国、法国以及日本的五家企业霸占了90%以上的市场。 在中国电子特气行业,图中的几大外资企业控制了85%的市场。在高端电子特气领域,中国企业几乎100%依赖进口。 在起步晚、基础薄弱、受限于知识产权的情况下,中国电子特气产业的攻关难度之大可想而知。 但是,近年来芯片国产化程度不断提升,电子特气作为被“卡脖子”的关键领域,必须尽快实现自给自足。 一方面是为了半导体产业的发展不再受到威胁。 对此,中国电子特气企业凯美特气董事长祝恩福曾公开指出:“卡脖子”的电子特气进口替代问题如果得不到解决,谈芯片制造就相当于建空中楼阁。 另一方面则是为了降低中国芯片产业的成本支出。进口的电子特气都非常昂贵,价格相当于国产特气的2-3倍。 而过高的成本支出无疑会影响到资金分配,导致研发投入等方面的资金短缺,削弱了整个产业的竞争力。 令人欣慰的是,在严峻形势下已经有不少中国企业打破了海外垄断,在一定程度上实现进口替代。例如昊华科技、金宏气体、凯美特气等等。 国产攻克难题实现量产 以凯美特气为例,这家成立于1991年的中国企业,不仅成为了可口可乐、百事可乐中国区最大的高纯二氧化碳供应商; 而且还将二氧化碳产业链外延,突破了电子特气国产化的诸多技术瓶颈,掌握了多项特气提纯核心技术。其生产的高纯度氪、氙、二氧化碳均得到国际巨头液化空气的认证。 据笔者了解,目前公司电子特气业务的产值已经接近1亿;预计2022年底,凯美特气将具备200标方氙气、2000标方氪气等生产能力。 至于这家国产电子特气行业龙头崛起的原因,笔者认为主要有以下几点。 首先,原材料充足 凯美特气的二氧化碳原材料是食品级二氧化碳,不仅质量稳定而且产能充足; 凯美特气还掌握着全国纯度最高的氟气原料,公司二期项目也有新建一套提纯装置,建成投入运行后,该公司将彻底解决氟原料问题。 正是得益于在二氧化碳、氟氪氙氖等原料上的完全自给,凯美特气才有专心搞研发的底气。 其次,研发优势 搞研发最需要的就是人才,在这方面凯美特气拥有一支强大的研发团队。其中不少人才都拥有长达数十年的行业经验,以及相当丰富的知识储备。 而且,凯美特气还为这些人才提供了良好的研发环境,设有专业高纯气体以及混配气体分析实验室,并配备了多套先进进口分析设备,是目前国内最先进电子级气体检测实验室。 最后,政策、环境利好 除了内部因素之外,外部因素也是助力凯美特气成为行业领军者的有力条件。 例如国家的大力支持、中国电子特气市场需求的稳步增长等,都为凯美特气提供了更多的发展机会。 预计2024年,中国电子特气市场需求会突破1200亿元,包括凯美特气在内的相关中国企业,有望实现更多超越。 文/谛林 审核/子扬 校对/知秋
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