²⁸Si具有更好的晶体结构，提高了热导率，可用于半导体芯片基础材料，缓解因半导体芯片尺寸缩小，电流密度增大而带来的温度升高。

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①同位素：

氦3、碳13、氮15、氧18、硼10/11，氘气、重水、氘代、氪氖氙同位素、金属同位素、同位素混合气

②稀有气体：

氦气、氖气、氪气、氙气、液氦

③碳氢气体：

甲烷、乙烷、丙烷、正/异丁烷、乙烯、丙烯、正戊烯、乙炔……

④高纯气体：

氟化氢、氯化氢、硫酰氟、羰基硫、氨气、CF4、SF6、SO2、CO、CO2、NO、N2O、NO2、N2O4……

⑤超纯气体

⑥标准气体、混合气

⑦氦气回收系统

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